乐鱼登录平台金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，中芯南方集成电路制造有限公司申请一项名为“真空管路的气流逆止装置、真空泵系统”的专利，公开号CN 119062561 A，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，一种真空管路的气流逆止装置和真空泵系统。所述真空管路包括：设备端管路、真空泵端管路和抽气阀，所述抽气阀的进气端连接所述设备端管路，所述抽气阀的出气端连接真空泵端管路。所述真空管路的气流逆止装置包括：第一传感器，适于根据所述设备端管路内的气压输出对应的第一电压信号，第二传感器，适于根据所述真空泵端管路内的气压输出对应第二电压信号，比较器，所述比较器的正相输入端连接所述第一传感器的输出端，所述比较器的负相输入端连接所述第二传感器的输出端，所述比较器的输出端适于输出电压比较结果；联动部，适于根据所述电压比较结果输出控制信号，以控制所述抽气阀的进气端和出气端之间连通或关闭。
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